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數(shù)字化深能級瞬態(tài)譜儀DLTS

簡要描述:半導(dǎo)體技術(shù)的一個(gè)重要目標(biāo)是減少所有構(gòu)成半導(dǎo)體器件中,晶體和非晶層中固有的和因生產(chǎn)工藝引起的缺陷。雜質(zhì)、晶界、晶面等引起的缺陷會導(dǎo)致陷阱的產(chǎn)生,陷阱可以俘獲自由電子和空穴。即使?jié)舛确浅5停葳逡材躩i大地改變半導(dǎo)體器件的性能。數(shù)字化深能級瞬態(tài)譜儀DLTS是現(xiàn)在一種非常通用的技術(shù),可用于測定與陷阱相關(guān)的幾乎所有參數(shù),包括密度、熱界面(熱發(fā)射率)、能級和空間剖面等。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-09-23
  • 訪  問  量:2317

詳細(xì)介紹

    半導(dǎo)體技術(shù)的一個(gè)重要目標(biāo)是減少所有構(gòu)成半導(dǎo)體器件中,晶體和非晶層中固有的和因生產(chǎn)工藝引起的缺陷。雜質(zhì)、晶界、晶面等引起的缺陷會導(dǎo)致陷阱的產(chǎn)生,陷阱可以俘獲自由電子和空穴。即使?jié)舛确浅5停葳逡材躩i大地改變半導(dǎo)體器件的性能。數(shù)字化深能級瞬態(tài)譜儀DLTS是現(xiàn)在一種非常通用的技術(shù),可用于測定與陷阱相關(guān)的幾乎所有參數(shù),包括密度、熱界面(熱發(fā)射率)、能級和空間剖面等。

主要特點(diǎn)

●快速而靈敏地檢測半導(dǎo)體中的電活性缺陷

●高靈敏度:體陷阱檢測限< 109 atoms/cm3;

●具有低至3微秒的快速響應(yīng)時(shí)間

●具有對過載的快速恢復(fù)能力以及對泄露電流的高免疫能力

●快速溫度掃描能力:每8分鐘100K且不影響靈敏度

●高達(dá)60dB的背景電容抑制能力度 

●數(shù)字采集包括:16位分辨率,1毫秒的采樣增量,50倍的時(shí)間跨度,和不限平均點(diǎn)數(shù)的平均瞬態(tài)

●單次溫度掃描可同時(shí)記錄不同發(fā)射率窗下的8幅譜圖

 

數(shù)字化深能級瞬態(tài)譜儀DLTS主要應(yīng)用

  ●PN結(jié)                 ●肖特基二極管

  ●MOS管             ●LED

  ●場效應(yīng)管           ●半導(dǎo)體激光器

  ●高電阻率半絕緣材料    

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